三坐標檢測就是通過將被測物體置於三坐標測量機的測量空間，利用接觸或非接觸探測系統精確的測出被測零件表面的點在空間三個坐標位置的數值，然後這些點的空間坐標值，擬合形成測量元素，如圓、球、圓柱、圓錐、曲面等，由軟件進行數學運算，求出待測的幾何尺寸和形狀、位置。
三坐標測量機是測量和獲得尺寸數據的方法之壹，因為它可以代替多種表面測量工具及昂貴的組合量規，並把復雜的測量任務所需時間從小時減到分鐘。三坐標測量機的功能是快速準確地評價尺寸數據，為操作者提供關於生產過程狀況的有用信息，這與所有的手動測量設備有很大的區別。將被測物體置於三坐標測量空間，可獲得被測物體上各測點的坐標位置，根據這些點的空間坐標值，經計算求出被測物體的幾何尺寸、形狀和位置。
中圖三坐標
主機結構主機結構主要分為：
1、框架：是測量機的主體機械結構架子。
2、標尺系統：是測量機的重要組成部分，是決定儀器精度的壹個重要環節。三坐標測量機所用的標尺有光柵尺、感應同步器、磁尺及光波波長等。
3、三坐標測量機導軌：是測量機實現三維運動的重要部件。測量機多采用滑動導軌、滾動軸承導軌和氣浮導軌，而以氣浮靜壓導軌為主要形式。氣浮導軌由導軌體和氣墊組成，有的導軌體和工作臺合二為壹。氣浮導軌還包括氣源、穩壓器、過濾器、氣管、分流器等壹套氣體裝置。
4、驅動裝置：是三坐標測量機的重要運動機構，可實現機動和程序控制伺服運動的功能。在測量機上壹般采用的驅動裝置有滾動輪、鋼絲、齒形帶、齒輪齒條、光軸滾動輪等傳動，並配以伺服馬達驅動。直線馬達驅動正在增多。
5、平衡部件：主要用於Z軸框架結構中。它的功能是平衡Z軸的重量，以使Z軸上下運動時無偏得幹擾，使檢測時Z向測力穩定。
6、轉臺與附件：轉臺是測量機的重要元件，它使測量機增加壹個轉動運動的自由度，便於某些種類零件的測量。
操作流程1、開機準備
將三坐標測量儀接通電源，確認氣源通暢，設備處於正常工作狀態。安裝正確的探頭，將工件放置在測量臺上並固定好。調整好測量儀的角度和高度。
2、創建測量程序
在計算機上打開測量軟件，創建壹個新的測量程序，並根據工件的實際形狀，和尺寸設計相應的測量路徑和工具路徑，設置好測量的參數和測量精度等級。
3、開始測量
將測量程序上傳到三坐標測量儀中，通過操作軟件啟動測量儀的自動測量模式，探頭會按照預定的測量路徑，自動掃描工件表面，並記錄下測量數據。
4、數據分析
完成測量後，軟件會自動處理測量數據，生成測量報告和圖像等輸出結果，以供後續使用。用戶可以根據需要進行數據分析和比較，以及對測量結果進行修正。
5、保存和輸出
將測量結果保存到計算機上，或外部存儲設備上，以備後續使用。同時可以根據需要，將測量結果輸出到打印機或其他設備上，以便進行更細致的分析和記錄。
6、關機和維護
完成測量後，及時關閉測量儀的電源和起源，徹底清理工作臺和探針。並進行必要的維護保養，以延長設備壽命和保證測量精度。
三坐標測量機作為壹種精密的測量儀器，如果維護及保養做得及時，就能延長機器的使用壽命，並使精度得到保障、故障率降低。
三坐標主要檢測形位公差，包括：幾何元素的測量：點、線、圓、面、球、弧、橢圓、圓柱、圓 錐、鍵 槽、曲線、曲面；幾何元素的構造：投影、中分、相交、相切、鏡像、擬合、平移、垂直、平行、組合、旋轉、偏置線、偏置；形位公差軟件：直線度、平面度、圓度、圓柱度、 圓錐度、球度、距離、夾角、垂直度、平行度、傾斜度、位置度（2D及3D）、對稱度、同軸度、 同心度等。
應用領域三坐標測量機主要用於機械、汽車、航空、軍工、家具、工具原型、機器等中小型配件、模具等行業中的箱體、機架、齒輪、凸輪、蝸輪、蝸桿、葉片、曲線、曲面等的測量。還可用於電子、五金、塑膠等行業中，可以對工件的尺寸、形狀和形位公差進行精密檢測，從而完成零件檢測、外形測量、過程控制等任務。
如：
汽車制造領域
發動機零件：缸體、缸蓋、活塞、曲軸、凸輪軸等；
變速箱零件：箱體、帶輪、齒輪、花鍵、離合器等；
汽車覆蓋件：鈑金件、內飾件、汽車玻璃、密封件等；
汽車塑膠件：車燈、儀表盤、油箱、保險杠等；
傳動系統：傳動軸、萬向節、減震器、輪轂等；
車身系統：車橋、車架、白車身等；
新能源汽車：電機殼體、轉子、電池冷卻板等
其他零件：汽車管道、轉向器零件、剎車系統零件等；
制造過程及控制：汽車模具、汽車檢具、裝配工裝等；
航空、航天精密領域
葉片類零件：葉輪、葉片、葉盤；
其他結構件、精密機加件、鈑金類零件等；
裝配工裝、夾具；檢驗檢具、樣板等；
3C及精密五金領域
3C行業：模具、精密沖壓件、精密鑄造件、精密結構件、金屬外殼、金屬中框、曲面玻璃等；
精密五金：軸類、緊固件、沖壓模、沖壓件、機床附件等。