ICPOES(Inductively Coupled Plasma Optical Emission Spectrometer ) 電感耦合等離子體發射光譜儀,現在的稱呼。因為現在icp發射光譜技術用到了越來越多的離子線,"原子發射光譜儀"已經不是那麽科學,所以現在都叫oes了。ICPOES可同時分析常量和痕量組分,無需繁復的雙向觀測,還能同時讀出、無任何譜線缺失的全譜直讀等離子體發射光譜儀,快速、線性範圍寬等優點。
ICPMS(Inductively Coupled Plasma mass spectrometry) 電感耦合等離子體質譜儀,ICP-MS是壹個以質譜儀作為檢測器的等離子體,ICP-AES和ICP-MS的進樣部分及等離子體是極其相似的。ICP-AES測量的是光學光譜(120nm~800nm),ICP-MS測量的是離子質譜,提供在3~250amu範圍內每壹個原子質量單位(amu)的信息。還可測量同位素測定。尤其是其檢出限給人極深刻的印象,其溶液的檢出限大部份為ppt級,石墨爐AAS的檢出限為亞ppb級,ICP-AES大部份元素的檢出限為1~10ppb,壹些元素也可得到亞ppb級的檢出限。但由於ICP-MS的耐鹽量較差,ICP-MS的檢出限實際上會變差多達50倍,壹些輕元素(如S、Ca、Fe、K、Se)在ICP-MS中有嚴重的幹擾,其實際檢出限也很差。