relacs材料的發展

妳好請問是問relacs材料的發展人是誰嗎？relacs材料的發展人是科萊恩。因為是relacs材料是科萊恩（Clariant）公司研發出來的壹種可應用在半導體制造領域中的有機材料，例如，雜誌《半導體國際》（《SemiconductorInternational》）於1999年9月公開了壹篇作者為LauraJ.Peters、題目為“ResistsJointheSub-LambdaRevolution”的文章，該文章描述了壹種由Mitsubishi提出的半導體工藝，該工藝在圖形化用於定義通孔位置的KrF光刻膠層之後，通過形成所述RELACS材料、烘焙（bake）、清洗（rinse）的工藝步驟將通孔的尺寸由0.2μm縮減至0.1μm。