cleanroom的意思是潔凈室。
凈室（Cleanroom，無塵室或潔凈室）是指壹個具有低汙染水平的環境，這裏所指的汙染來源有灰塵，空氣傳播的微生物，懸浮顆粒，和化學揮發性氣體。凈室，又稱無塵室、潔凈室或清凈室，是指壹個具有低汙染水平的環境。
這裏所指的汙染來源有灰塵，空氣傳播的微生物，懸浮顆粒，和化學揮發性氣體。更準確地講，壹個凈室具有壹個受控的汙染級別，汙染級別可用每立方米的顆粒數，或者用最大顆粒大小來厘定的。低級別的凈室通常是沒有經過消毒的，更在意的是凈室中的灰塵。
凈室的定義為：將空間範圍內之空氣中的微塵粒子等汙染物排除，而得到壹個相當潔凈的環境。亦即：這個環境中的微塵粒子相當少，稱之為凈室。
凈室被廣泛地應用在對環境汙染特別敏感的行業，例如半導體生產、生化技術、生物技術、精密機械、制藥、和醫院內的手術室等行業等，其中以半導體業其對室內之溫濕度、潔凈度要求尤其嚴格、故其必需控制在某壹個需求範圍內，才不會對制程產生影響。
凈室空調的特性：
1、溫濕度要求比壹般空調高壹般空調要求在18°C~26°C之間，相對濕度則在40%~65%之間；凈室空調必須控制在22°C~24°C之間，相對濕度則在45%~55%。
2、恒溫恒濕控制由於半導體制程對溫濕度變化的大小極為敏感，故在凈室大部分區域必須控制在±1°C及±3%之內。
3、所需的外氣較多由於半導體工廠中，制程系統需使用大量的化學品和毒氣，這些化學品和毒氣所產生的揮發氣體和廢氣必須予以全數排除，故排氣量相當大，為維持凈室壓力比外面的大氣壓力大，此時所補充的空氣量亦隨之增加。