1822年法國人Nicephoreniepce（尼埃普斯）發明了光刻機，起初是Nicephoreniepce發現了壹種能夠刻在油紙上的印痕，當其出現在了玻璃片上後，經過壹段時間的暴曬，透光的部分就會變得很硬，但是在不透光的部分可以用松香和植物油將其洗掉。
盡管光刻機發明的時間較早，不過在其發明之後，並沒有在各行業領域之中被使用，直到第2次世界大戰時，該技術應用於印刷電路板，所使用的材料和早期發明時使用的材料也已經有了極大的區別，在塑料板上通過銅線路制作，讓電路板得以普及，短期之內就成為了眾多電子設備領域中最為關鍵的材料之壹。
如今，光刻機已經成為半導體生產制造的主要生產設備，也決定了整個半導體市場水平工藝的象征。
二、光刻機制造需要哪些技術
光刻機的制造體系非常復雜，有兩點至關重要，即精密零部件和組裝技術。
1、精密零部件
壹臺光刻機的制造需要數萬個精密零部件。通常來說，壹臺光刻機的制造需要大約八萬個精密零件，而目前世界上最為先進的極紫外EUV光刻機所需要的制造零件更是高達十萬余個。
壹套完整的光刻機包括多個組成系統，主要包括曝光系統、自動對準系統、整機軟件系統等。其中，曝光系統更是包含了照明系統和投影物鏡。
在組成光科技的所有核心精密零件中，光學鏡頭、光學光源、雙工作臺又可以說是核心中的核心。
擁有高數值孔徑的光學鏡頭是決定光刻機的分辨率和閾值誤差能力。而分辨率和套值誤差能力對於壹臺光刻機具有至關重要的重要性。而世界上最為先進的EUV極紫外光刻機唯壹可以使用的鏡頭就是由蔡司公司生產的鏡頭。
光刻機的光學光源所包含的光源波長是決定光刻機工業能力的重要部分。需要特別註意的是，光刻機所需要的光源，必須具備體積小、功率高以及穩定的幾個特點。
比如說極紫外EUV光刻機所使用的光源波長是僅僅只有13.5納米的極紫外光，其所使用的光學系統極為復雜。
光刻機中所需要的工作臺系能夠影響光刻機運行過程中的精度和產效，含有的綜合技術難度非常高。因為這種工作臺中具有承載矽片來能夠完成光刻機運行過程中的壹系列超精密的運動系統，其中包括上下片、對準、景圓面型測量、曝光等等。
2、組裝技術
壹臺光刻機不僅需要精密的零件，這些零件的組裝技術也至關重要。
當所有零件都準備就緒之後，接下來的組裝過程將直接影響壹個光刻機的運行效能。現在光刻機主要生產商荷蘭ASML公司（中文譯名：阿斯麥爾）的生產過程從本質上來說更像是壹個零件組裝公司，因為ASML公司生產光刻機所需要的將近90%的部件是從世界各地采購，其在世界上擁有超過五千家供應商。
換句話說，ASML公司之所以能夠在光刻機制造技術上打敗尼康以及佳能等其他光刻機生產對手，從而在全球光刻機制造和銷售市場上占據領先地位，壹個重要原因就是強大的組裝技術。
壹家強大的光刻機組裝企業需要具有各種嫻熟的技術工人和各種組裝方面的知識產權，從而能夠清楚明白各種精密元件如何組裝，進而通過他們嫻熟的操作和系統的知識來快速和精確的制造壹臺光刻機。
我國目前在光刻機的技術方面，經過近二十年的關鍵技術攻克，已經取得長足發展。
從光刻機雙工作臺來說，中國華卓精科與清華團隊生產聯合研制的雙工作臺已經打破ASML的技術壟斷，至於光刻機的同步光源設備和光學鏡頭的技術也在哈工大等全國知名科研機構的潛心研究中獲得了迅猛發展。
可以說，目前我國人才、資源、資金等各個方面都已具備，未來我們擁有屬於自己的光刻機只是時間問題，未來前景可期！