最早出現的是接觸式測量方法，代表是三維坐標測量機，雖然精度達到微米量級（0.5mm），但是由於體積巨大、造價高以及不能測量柔軟的物體等缺點，使其應用領域受到限制 。
於是出現了非接觸式測量方法，主要分兩類。
壹類是被動方式，就是不需要特定的光源，完全依靠物體所處的自然光條件進行掃描，常采用雙目技術，但是精度低，只能掃描出有幾何特征的物體，不能滿足很多領域的要求。
另壹類是主動方式，就是像物體投射特定的光，其中代表技術激光線式的掃描，精度比較高，但是由於每次只能投射壹條光線，所以掃描速度慢。另外，由於激光會對生物體以及比較珍貴的物體造成傷害，所以不能應用於某些特定領域。
新興的技術是結構光式的掃描，結構光也屬於主動方式，通過投影或者光柵投射同時多條光線，就可以采取物體的壹個表面，只需要幾個面的信息就可以完成掃描，最大的特點是掃描速度快，而且可編程實現。
還有壹種是低頻脈沖波(低頻聲波)式原理，主要應用於物位測量方面。基於二維數組波束形成器傳送低頻脈沖，介可視3D物位掃描儀接收來自筒倉、倉室或其他容室內物料的回波。設備的數字信號處理器對接收到的信號進行取樣和分析，通過估算回波到達的時間和方向，處理器形成壹個物料表面的三維圖，這個圖像通過壹種專有的計算方法對信息進行處理並生成3D圖象，可以在遠端屏幕上顯示出來. 物位計可以據此準確得出物料的體積和質量，夠使工藝物位監測和庫存控制達到壹個新的高度。料位計精確的物料檢測能夠提高操作效率和管理能力，高成本突發狀況減少，加快收益回饋。