微機電系統（MEMS，Micro-Electro-MechanicalSystem）叫做微電子機械系統、微系統、微機械等，指尺寸在幾毫米乃至更小的高科技裝置。
壹、微機電系統（MEMS）指壹種基於微處理系統的微機械設備和機電壹體化系統。該技術是通過將微型機械、微電子技術、信息處理技術、光學技術等技術相結合，將微型機械部件和電子元件集成在壹起來實現高精度、高速度、多功能、小型化和集成化的智能傳感器和執行器件系列產品。
二、微機電系統MEMS技術不僅使得微型機械的制造達到了微米級別的精度，而且完全將傳感和執行器件集成在了芯片上，通過微特性調制微小結構，包括內部設計、加工工藝和制造工藝等，制成微小結構件，進而可以構成誤差小、響應速度快、靈敏度高的微小設備。
三、迄今為止，MEMS已經應用於各大領域：
1、常用的加速度、角速度、氣壓傳感器。
2、營養環保方面-普及的蒸發器、傳熱器、微反應器等。
3、醫學和生物技術領域中-微尺寸信號和處理器、低劑量的矽微粒、藥物薄膜、生物檢測傳感器等。
4、安全監測。
微機電系統（MEMS）特點
微機電系統是微電路和微機械按功能要求在芯片上的集成，尺寸通常在毫米或微米級，自八十年代中後期崛起以來發展極其迅速，被認為是繼微電子之後又壹個對國民經濟和軍事具有重大影響的技術領域，將成為21世紀新的國民經濟增長點和提高軍事能力的重要技術途徑。
微機電系統的優點是：體積小、重量輕、功耗低、耐用性好、價格低廉、性能穩定等。微機電系統的出現和發展是科學創新思維的結果，使微觀尺度制造技術的演進與革命。