前三個峰是指用電子能譜分析樣品表面時相應元素的含量。因為是表面分析，深度只有0.5~0.7nm，所以峰面積不是指樣品中元素的總含量。
從結合能值和峰形來看，是三價Fe。2p3/2和2p1/2：2表示主量子數n=2，p表示l=1（s、p、d、f分別表示角量子數l=0、1、2、3）。原子中的電子既有軌道運動又有自旋運動。
功能與特點
（1）定性分析－-根據測得的光電子動能可以確定表面存在哪些元素，
a.能夠分析出了氫，氦以外的所有元素，靈敏度約0.1at%。空間分辨率為100um, X-RAY的分析深度在1.5nm左右。
b.相隔較遠，相互幹擾較少，元素定性的相鄰元素的同種能級的譜線標識性強。
c.能夠觀測化學位移，化學位移同原子氧化態、原子電荷和官能團有關。化學位移信息是利用XPS進行原子結構分析和化學鍵研究的基礎。
（2）定量分析－-根據具有某種能量的光電子的強度可知某種元素在表面的含量，誤差約20%。既可測定元素的相對濃度，又可測定相同元素的不同氧化態的相對濃度。
（3）根據某元素光電子動能的位移可了解該元素所處的化學狀態，有很強的化學狀態分析功能。
（4）由於只有距離表面幾個納米範圍的光電子可逸出表面，因此信息反映材料表面幾個納米厚度層的狀態。
（5）結合離子濺射可以進行深度分析。
（6）對材料無破壞性。
（7）由於X射線不易聚焦，照射面積大，不適於微區分析。
（8）是壹種高靈敏超微量表面分析技術，樣品分析的深度約為20?，信號來自表面幾個原子層，樣品量可少至10的－8次方g，絕對靈敏度高達10的－18次方g。