《禮記》：頭有瘡則沐，身有瘍則浴。《黃帝內經》亦曰：其有邪者，漬形以為汗，邪可隨汗解。《五十二病方》隨馬王堆漢墓出土，明確提出用中藥煎煮的熱藥蒸汽熏蒸治療疾病，其中有熏蒸洗浴八方，如用駱阮熏治痔瘡；用韭和酒煮沸熏治傷科病癥等。東漢醫聖張仲景的《金匱要略》亦記述了用苦參揚熏洗治療狐惑病蝕於婦人下部的藥方與手法。晉朝葛洪的《肘後備急方》記述了用煮黃柏、黃岑熏洗治療創傷與瘍癰癥；唐代醫藥大家孫思邈的《千金要方》則記述了用大劑黃芪防風湯熏蒸治療柳太後中風不語使其蘇醒的方藥與手法；中藥熏蒸治療療法用於皇宮深院救治皇太後的中風重癥，足可窺中藥熏蒸治療療法在當時的作用和影響之壹斑。清代的《急救廣生論》和《理論駢文》是中藥外治分支科學療法的成熟與完善；尤其是《理論駢文》宏論之精辟、之辨證、之顛撲不破更是將中藥外治從實踐到理論推向壹個全新的高度；其中融會貫通了外治宗師吳師機“余學外治十余年、逮親驗數萬人，其治愈不勝計”的艱辛實踐。
新中國建立後，隨著科技的進步，亦有壹批很有影響的專著如《自然治療療法大全》、《實用中醫獨特治療療法大全》、《當代中藥外治臨床大全》、《中國醫學治療療法大全》等十余種有關中藥熏蒸洗浴治療療法的單行本相繼出版，師承前人，推陳出新，為中藥外治和中藥熏蒸治療療法的不斷發展推波助瀾。