生產光刻機上市公司有ABM、上海微電子裝備有限公司、佳能、尼康、荷蘭ASML公司.
1、ABM
ABM公司成立於1986年，總部位於美國矽谷San Jose。主要經營光罩對準曝光機（光刻機），單獨曝光系統,光強儀/探針。公司的主要市場在美國和亞洲。
2、上海微電子裝備有限公司
上海微電子裝備有限公司坐落於張江高科技園區內，鄰近國家集成電路產業基地、國家半導體照明產業基地和國家863信息安全成果產業化（東部）基地等多個國家級基地。
公司成立於2002年，主要致力於大規模工業生產的投影光刻機研發、生產、銷售與服務，公司產品可廣泛應用於IC制造與先進封裝、MEMS、TSV/3D、TFT-OLED等制造領域。
3、佳能
佳能的產品系列***分布於三大領域：個人產品、辦公設備和工業設備，主要產品包括照相機及鏡頭、數碼相機、打印機、復印機、傳真機、掃描儀、廣播設備、醫療器材及半導體生產設備等。
4、尼康
尼康作為世界上僅有的三家能夠制造商用光刻機的公司，似乎在這個領域不被許多普通人知道，許多人只知道尼康的相機做的好，卻不知道尼康光刻機同樣享譽全球。
5、荷蘭ASML公司
這是壹家總部設在荷蘭艾恩德霍芬（Veldhoven）的全球最大的半導體設備制造商之壹，向全球復雜集成電路生產企業提供領先的綜合性關鍵設備。ASML的股票分別在阿姆斯特丹及紐約上市。
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