又稱矽氯仿。甲矽烷的三氯代物，化學式SiHCl3。為壹種易流動的無色液體；熔點－126.5℃，沸點 33℃，密度1.34克/厘米3 ；能溶於苯、氯仿和二硫化碳。
三氯化矽
三氯化矽是壹種化學物質，分子式是SiHCl3。
中文名
三氯化矽
化學式
SiHCl3
分子量
135.6
貯存
在幹燥、陰涼、通風處
註意
著火後嚴禁用水滅火
三氯化矽化學方程式：SiHCl3
主要反應：
Si+3HCl→SiHCl3+H2 放出50.0kcal/mol的熱量。
Si+4HCl→SiCl4+H2 放出54.6kcal/mol的熱量。除了四氯化矽外還會生成二氯二氫矽。
三氯化矽在潮濕的空氣中極易發生水解反應，放出大量的氯化氫和氫氣，汙染環境,並易發生火災.。水解反應方程式：
SiHCl3+2H2O→SiO2+HCl+H2
因此，三氯化矽要貯存在幹燥、陰涼、通風處，艙內溫度不宜超過25℃，著火後要用砂土、幹粉滅火器、CO2滅火器撲救，嚴禁用水滅火。小量泄露時，用砂土或其他不燃材料吸附或吸收；大量泄漏時，構築圍堤或挖坑收容，用泡沫覆蓋，降低蒸汽災害，再按規定清除。