為阿米卡星藥用中間體，是羥基及氨基保護劑；特種有機合成。阿米卡星、盤尼西林、頭孢黴素、氟尿嘧啶及各種青黴素衍生物等合成過程中的甲矽烷基化。矽藻土、白炭黑、鈦等粉末的表面處理。半導體工業中光致刻蝕劑的粘結助劑。