mocvd是什麽意思？

MOCVD是壹種基於VPE原理的新型氣相外延生長技術。MOCVD是壹種以III-II族元素的有機化合物和V、VI族元素的氫化物為晶體生長源材料，在襯底上通過氣相外延生長各種III-V主族、II-VI亞族化合物半導體和多元固溶體的薄層單晶材料。壹般MOCVD設備有手動操作和微機自動控制操作兩種功能。