漢承秦制，但較秦制更嚴密。在西漢，中央仍設禦史大夫作為長官，禦史中丞為副，兼掌皇帝機要秘書和中央監察之職。在地方上，西漢初年廢監禦史，由丞相隨時委派“丞相史”，分刺諸州。漢武帝時，為加強中央對地方的控制，全國分為13個監察區，叫州部，每個州部設刺史1人，為專職監察官,以“六條問事”,對州部內所屬各郡進行監督。
丞相府設司直，掌佐丞相舉不法。朝官如諫大夫加官給事中，皆有監察劾舉之權。郡壹級有督郵，代表太守，督察縣鄉。宣帝時，會侍禦史二人掌法律文書，也有評斷決獄是非之權。因特別使命而設的符璽禦史、治書禦史、監軍禦史、繡衣禦史（亦稱繡衣直指）等，分別行使禦史的職權。
西漢末年，禦史大夫更名大司空，禦史府改作禦史臺，由禦史中丞主管監察事務。
東漢時，禦史臺稱憲臺，仍以禦史中丞為長官，但職權有所擴大。
禦史臺名義上轉屬少府，實為最高的專門監察機關。它與地位顯要的尚書臺、掌管宮廷傳達的謁者臺，同稱“三臺”。
東漢侍禦史，掌糾察；治書侍禦史,察疑獄。把全國分成13個監察區,包括1個司隸（中央直轄區）和12個州。
司隸設司隸校尉1人,地位極為顯赫，朝會時，與尚書臺、禦史中丞壹樣平起平坐，號曰“三獨坐”。司隸校尉負責監察除三公以外的朝廷百官和京師近郡犯法者。每州置1刺史，用以監察地方政情、受理案件、考核官吏。由於事權混雜，後來刺史逐漸變為淩駕於郡之上的壹級地方壹級的行政長官，失去了監督地方的作用，故改稱州牧，州也由監察區變為行政區，地方的監察制度便基本瓦解。
中央：禦史大夫
在中央，設立有禦史臺，作為最高監察機關。其長官在西漢初期為禦史大夫，與丞相及太尉同為“三公”。其職責是“內承本朝之風化，外佐丞相統理天下”（《漢書·薛宣傳》），兼有行政與監察長官之性質，相當於副丞相。他以察舉違法為職責，對官吏的違法行為，不問是否有皇帝和丞相的指令，均有權進行案問，但禦史大夫僅負責朝內和京畿地區三輔的監察。在禦史大夫之下則設立禦史中丞為其佐官。
地方：刺史
為了加強對地方郡縣的監察，漢武帝時開始在地方設立專門的監察機構，由各部派遣刺史壹人，稱為十三部刺史，隸屬於中央禦史臺，專門負責監察郡縣，於每年八月，“周行郡國，省察治狀，黜陟能否，斷治冤獄”，同時還負責“課第長史，不稱職者為殿，舉免之”（《漢舊儀》）。
此外，漢朝時期，皇帝還經常根據需要直接從禦史中任命繡衣直指禦史。他們穿繡衣，持斧戴，握有生殺大權。