日全食的變化過程可以分為以下五個時期：初虧、食既、食甚、生光、復圓。
初虧：由於月亮自西向東繞地球運轉，所以日食總是在太陽圓面的西邊緣開始的。當月亮的東邊緣剛接觸到太陽圓面的瞬間稱為初虧。初虧也就是日食過程開始的時刻。
食既：從初虧開始，英國天文學家倍利最早描述了這種現象，因此又稱為倍利珠。這是由於月球表面有許多崎嶇不平的山峰，當陽光照射到月球邊緣時，就形成了貝利珠現象。
食甚：食既以後，日輪繼續東移，當月輪中心和日面中心相距最近時，就到食甚。食甚是太陽被月亮遮去最多的時刻。
生光：月亮繼續往東移動，當月面的西邊緣和日面的西邊緣相內切的瞬間，稱為生光，它是日全食結束的時刻。
復圓：生光之後，月面繼續移離日面，太陽被遮蔽的部分逐漸減少，當月面的西邊緣與日面的東邊緣相切的剎那，稱為復圓。這時太陽又呈現出圓盤形狀，整個日全食過程就宣告結束了。