探針臺主要應用於半導體行業、光電行業、集成電路以及封裝的測試。
廣泛應用於復雜、高速器件的精密電氣測量的研發,旨在確保質量及可靠性,並縮減研發時間和器件制造工藝的成本。
探針臺從操作上來區分有:手動,半自動,全自動,從功能上來區分有:溫控探針臺,真空探針臺(超低溫探針臺),RF探針臺,LCD平板探針臺,霍爾效應探針臺,表面電阻率探針臺。
縱觀國內外的自動探針測試臺在功能及組成上大同小異,即主要由x-y向工作臺,可編程承片臺、探卡/探卡支架、打點器、探邊器、操作手柄等組成,並配有與測試儀(TESTER)相連的通訊接口。
x-y工作臺的維護與保養:
無論是全自動探針測試臺還是自動探針測試臺,x-y向工作臺都是其最核心的部分。有數據表明探針測試臺的故障中有半數以上是x-y工作臺的故障。
而工作臺故障有許多是對其維護保養不當或盲目調整造成的,所以對工作臺的維護與保養就顯得尤為重要。本文僅對自動探針測試臺x-y工作臺的維護與保養作壹介紹。
平面電機由定子和動子組成,它和傳統的步進電機相比其特殊性就是將定子展開,定子是基礎平臺,動子和定子間有壹層氣墊,動子浮於氣墊上,而可編程承片臺則安裝在動子之上。這種結構的x-y工作臺,由於動子和定子間無相對摩擦故無磨損,使用壽命長。