ICP還可以作為原子化器,如以空心陰極燈為光源,ICP為原子化器的原子熒光光譜儀.這類儀器不采用單色器,以ICP為中心,在周圍安裝多個檢測單元(每壹元素配壹個檢測單元),形成了多元素分析系統.ICP作為原子化器最大的優點在於原子化器具有很高的溫度,多種元素都可得到很好地原子化,散射問題也得到的克服.由計算機控制,燈電源順序地向各檢測單元的空心陰極燈供電(2,000次/秒),所產生的熒光由相應的光電倍增管檢測,光電轉換後的電信號在放大後由計算機處理,並報出各元素的分析結果.不過,值得提出的是,以ICP為原子化器的原子熒光光譜儀對難熔元素的測定靈敏度不高。
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