不同等離子體產生的自偏壓不壹樣,超聲等離子體的自偏壓為1000V左右,射頻等離子體的自偏壓為250V左右,微波等離子體的自偏壓很低,只有幾十伏,三種等離子體的機制不同。超聲等離子體發生的反應為物理反應,射頻等離子體發生的反應既有物理反應又有化學反應,微波等離子體發生的反應為化學反應。但因為40KHz為較早的技術,其射頻匹配後能量消耗過大,實際作用到清洗物上的能量不足原有能量的1/3。所以實際應用中大多采用13.56MHz射頻等離子體清洗,這個頻率也是現在國際上最流行的,價格也是最高的。
不同等離子體產生的自偏壓不壹樣,超聲等離子體的自偏壓為1000V左右,射頻等離子體的自偏壓為250V左右,微波等離子體的自偏壓很低,只有幾十伏,三種等離子體的機制不同。超聲等離子體發生的反應為物理反應,射頻等離子體發生的反應既有物理反應又有化學反應,微波等離子體發生的反應為化學反應。但因為40KHz為較早的技術,其射頻匹配後能量消耗過大,實際作用到清洗物上的能量不足原有能量的1/3。所以實際應用中大多采用13.56MHz射頻等離子體清洗,這個頻率也是現在國際上最流行的,價格也是最高的。