通過分析樣品表面被X射線光子激發後發射出的光電子和俄歇電子的能量、角度和強度,XPS可以確定元素種類、化學狀態、化學鍵類型和含量等信息。此技術還可進行微區分析,檢測深度小於10納米,適用於分析塊體或薄膜樣品。由於XPS是壹種非破壞性的分析方法,對樣品影響較小,因此在材料科學、納米技術、催化劑開發、化學和生物傳感器制備以及表面修飾等領域有著廣泛的應用。
通過分析樣品表面被X射線光子激發後發射出的光電子和俄歇電子的能量、角度和強度,XPS可以確定元素種類、化學狀態、化學鍵類型和含量等信息。此技術還可進行微區分析,檢測深度小於10納米,適用於分析塊體或薄膜樣品。由於XPS是壹種非破壞性的分析方法,對樣品影響較小,因此在材料科學、納米技術、催化劑開發、化學和生物傳感器制備以及表面修飾等領域有著廣泛的應用。