1，真空發生器
真空發生器又叫文丘裏管，是利用正壓氣源產生負壓的壹種器件，常和真空吸盤配合，用作物料的吸附，搬運。
其形成真空的原理是，當氣流有粗變細而導致流速變大後，在氣流的側後方會形成“真空區”，當該真空區靠近物料時，就會對物料有吸附作用。其特點是結構簡單，易於實現，缺點是形成的真空負壓不大，比較好的真空負壓能到幾百Pa，主要應用在吸取樣片，或者生活中常見的前面粉刷用的顏料噴塗等，用的就是這個原理。
真空發生器的結構及真空形成機理如下圖所示。
2，真空泵
真空泵是利用機械，物理或者化學的方法對被抽容器進行抽氣獲得真空的器件或者設備。通俗的說，就是使用各種方法對某壹封閉的空間產生，改善和維持真空的裝置。
分類：根據其原理可以分為兩種類型，氣體輸送泵和氣體捕集泵。再往下細分，又可以分為多種，見下圖。
2.1 氣體輸送泵
又叫氣體容積式泵，通過密閉在泵腔內 容積的變化導致壓強的變化 ，進而實現氣體的輸送（壓強大的區域向壓強小的區域輸送氣體）。
個人的理解，就像是生活中常見的打氣筒。打氣筒手柄上提的過程中，氣筒內部的容積變大，壓強減小，比大氣壓小，而此刻氣筒外部的大氣壓是高於氣筒內部，此時，大氣會流向氣筒內部，這樣就是容積的擴大實現的了吸氣；而手柄下壓的過程，就是容積減小，相對於氣筒外部是高於大氣壓，繼而，氣筒內部的氣體輸送到氣筒外部，實現了排氣。
2.2 氣體捕集泵
氣體捕集泵是通過合適的溫度將氣體冷凝到活性襯底上，比如活性炭。
3 真空泵的廠家
國內：中科科儀，沈陽科儀，北儀優成等。
國外：EDWARDS, ULVAC,AGILENT,PFEIFFER等。