什麽是MEMS陀螺儀技術？

MEMS陀螺儀即矽微機電陀螺儀，絕大多數的MEMS陀螺儀依賴於相互正交的振動和轉動引起的交變科裏奧利力。MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems)是指集機械元素、微型傳感器、微型執行器以及信號處理和控制電路、接口電路、通信和電源於壹體的完整微型機電系統。

mems陀螺儀的特點:

MEMS陀螺儀是利用 coriolis 定理，將旋轉物體的角速度轉換成與角速度成正比的直流電壓信號，其核心部件通過摻雜技術、光刻技術、腐蝕技術、LIGA技術、封裝技術等批量生產的，它主要特點是　　1. 體積小、重量輕，其邊長都小於 1mm，器件核心的重量僅為1.2mg。　　2. 成本低　　3. 可靠性好，工作壽命超過 10 萬小時，能承受1000g 的沖擊。　　4. 測量範圍大