源起
彈劾始於14世紀的英國，當時是作為根據“群眾呼聲或輿論”提起刑事訴訟的壹種方式。1376年，英國的議會樹立了第壹批公認的彈劾案例，其中最重要的是與愛德華三世政府有密切聯系的威廉·拉蒂默男爵第四提起的彈劾案。此後，彈劾的對象通常為王室大臣之類的政治人物。拉蒂默壹案標誌著彈劾不僅是壹種提起刑事訴訟的手段，而且也是審判的壹種方式。
發展
15世紀中葉以後，彈劾作為壹種提起刑事訴訟的手段，曾壹度被置棄不用。到了17世紀，議會又重新把它作為解除不得人心、往往又是受到國王保護的宮廷寵臣職務的壹種手段。
到18世紀末，隨著社會的發展，人們開始認識到，彈劾作為壹種政治手段未免過於草率，而對於王室大臣也無需采取壹種國王無權阻止的刑事訴訟程序。因此自1806年起，英國就不再使用彈劾訴訟。 在美國，彈劾程序用得很少，根據美國憲法第二條第四項的規定：“總統、副總統及合眾國政府之文官，受叛國罪、賄賂罪或其他重罪輕罪之彈劾與定讞時，應受免職處分”。其彈劾的對象是法庭無權審訊的高級官員，如總統、副總統、聯邦法官和內閣部長等。軍職人員和國會議員不適用彈劾的規定。
程序
以美國為例：
美國是總統制國家，總統不僅是國家元首，而且實際掌握行政權，擁有巨大的權力。為防止總統違法和濫用權力，需要設計對總統的彈劾程序。在美國，總統由選民選舉產生，向選民負責，理應由選民予以彈劾。而憲法規定由參議院審理彈劾案，同時規定由聯邦最高法院首席法官擔任主席。
在制憲時設計這壹制度的基本考慮是：
（1）彈劾帶有政治性，“其管轄範圍屬於擔任公職人員失職所造成的犯罪，換言之，即對某種群眾委托的濫用或背離”，彈劾的結果是免去被認定有罪者的職務，因而，應當由政治性機關行使審訊權。美國是聯邦制國家，在國會中參議院代表各州，同時參議院由選舉產生，由參議院行使最為恰當。
（2）如果由聯邦最高法院擔任這壹角色，受其司法性質和司法程序所決定，裁決結果可能難以令人信服；彈劾是使被彈劾者失去全國的尊敬、信賴、榮譽和報酬，在被彈劾後，其還要作為平民接受審判，這壹審判的結果又可能使其失去生命和財產，壹個機構同時擁有這兩項巨大的權力，對當事人而言是不公平的。
（3）由聯邦最高法院所有法官與參議院聯合組成彈劾法庭，其弊病與上述相同。而由最高法院首席法官擔任彈劾法庭的主席，既有利於提高司法機關的權威，又有利於彈劾案的審理。
（4）如果另行成立壹個能夠代表人民的法庭，法官人數將“多到從經濟上考慮達到不合理的程度”；財政上的負擔將加重，國家的政治機器也將更加復雜。
（5）參考英國和各州的做法，“在大不列顛，提出彈劾屬於下院的職責範圍，而由上院裁決，若幹州憲就是以此為樣本的”。
（6）作為立法機關制約行政機關的壹種手段。
在彈劾程序中，眾議院是作為起訴人的角色，而參議院充當彈劾法庭的角色，行使彈劾案的審判權。眾議院的起訴程序是：眾議院司法委員會表決通過彈劾總統條款，全體會議進行辯論並表決，如超過1/2的議員贊成彈劾，該議案即呈參議院。
參議院的審理程序是：
（1）參議院司法委員會負責收集雙方證據，為審理彈劾案做準備；
（2）由聯邦最高法院首席法官主持審理過程，100名參議員為彈劾法庭的法官，聽取控辯雙方的辯論和有關證人的證詞；
（3）眾議院以其司法委員會主席為代表扮演控方的角色，白宮則組成辯護團，審理開始後，雙方先各進行1小時的陳述，然後傳喚有關證人作證；
（4）在控辯雙方盤問證人和辯論結束後，聯邦最高法院首席法官就彈劾指控按姓氏字母順序壹壹點名詢問每個參議員，後者只能回答“有罪”或者“無罪”。如果有2/3以上的參議員，就任何壹項指控回答“有罪”，總統即被彈劾，由副總統接任總統，被彈劾者將終身不得擔任任何公職。如果犯有刑事罪行，在其恢復普通平民身份後由普通法院進行審理。如果被認定為“無罪”，總統可以繼續完成其任期。
在美國歷史上，總統的彈劾程序***啟動過三次，即約翰遜案、尼克松案和克林頓案。美國歷史上第壹位遭到彈劾的總統是安德魯·約翰遜。尼克松則因此成為美國歷史上第壹位辭職的總統。