這也是用得較多的壹種，在國外以beta公司開發較早。激光掃描測徑儀利用旋轉的八面鏡將射來的激光掃描成光帶，再由被測物在光帶上形成陰影寬度，其投影寬度可以通過光電二級管接收並轉換為數字信號測量得來。其主要適合大直徑測量，據有精度高，測量速度快等特點。目前激光掃描測徑儀精度最高可達0.5um，小直徑測量由於其光斑本身比被測物大，且產生幹涉衍射現象，不容易較好的測量，但輝煌有相關的細絲測徑儀，是利用掃描測量原理。
激光掃描測徑儀的構成是由激光二極管發出的光，經過八面鏡的掃描形成平行光帶通過F(θ)鏡形成側量區域，然後被測物在光帶中形成的陰影在信號處理器9計算出它的大小。 利用衍射原理測量細線的直徑，目前這項技術在國內僅輝煌測控壹家從德國引進，此技術與前兩項剛好相反，只適用於測小直徑的細絲，而且越細越好，因為此技術是利用衍射原理，理論只有當波長與被測物相近或大於被測長物時衍射最明顯。目前明銳的的產品在測量5um到300um的細絲是沒問題的，據說可以測量到500um。其精度由於限於標準樣件和測試環境的影響，現在只有0.2um左右，但其重復性精度相當高，所以只要有標準樣件和良好的測試環境，精度是可以再次大提高的，這也是細絲測徑儀的壹個發展方向。