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真空的概念以及高真空得真空的劃分

真空的定義 由低於大氣壓的氣體所充滿的空間被稱為真空。 真空有不同的程度:從大氣壓到百分之壹氣壓的狀態被稱為低真空,到百萬分之壹的被稱為中真空,到壹百億分之壹的被稱為高真空,到十兆分之壹的被稱為超高真空,低於十兆分之壹的被稱為極高真空狀態。 到達各種真空狀態需要各種排氣泵的組合,達到中真空狀態可利用轉輪泵等機械泵,到達中真空狀態以上需要另外使用分子泵,油擴散泵,低溫泵或離子泵等。根據所需的真空狀態,各種排氣泵可適當組合。