1、矽粉直接氮化法，該方法采用化學純的矽粉（分析純：95%以上）在NH3，N2+H2或N2氣氛中直接與氮反應實現，其反應方程式如下：矽粉直接氮化合成Si3N4微細粉的優點是工藝流程簡單，成本低缺點是該方法反應慢需較高的反應溫度和較長的反應時間，制備的Si3N4粒徑分布較寬，需要進壹步經過粉碎、磨細和純化才能達到質量要求。
2、SiO2還原氮化法，將SiO2的細粉與碳粉混合後，通過熱還原首先生成SiO，然後SiO再被氮化生成塊狀的Si3N4總的化學反應式為：SiO2還原氮化法的特點是原料來源豐富，反應產物是疏松粉末，與矽粉氮化產物不需要進行粉碎處理，從而避免了雜質的重新引入，所以用該法制得Si3N4粉末粒型規整，粒度分布窄。