沈默權制度，最早開始於英國，後又在美國推行並波及歐洲各國，以及我國香港、臺灣地區，學理上又稱反對自我歸罪特權。
1912年，英國《1912年法官規程》對沈默權作出了明文規定。受英國法的影響，美國1789年憲法修正案第5條明確規定反對強迫自我歸罪的特權。規定“任何人都不得被強迫在任何刑事案件中自證有罪”。
德、日等大陸法系國家則是通過刑事訴訟法最終確定的，在立法中直接規定沈默權的規則。例如日本憲法第38條規定：不得強迫任何人作不利於己的供述”。其刑事訴訟法第198條（二）規定：“在進行前項調查時，應當預告知嫌疑人沒有必要違反自己的意識進行供述。
而隨著聯合國不斷確立、推行刑事司法的國際化，特別是刑事司法領域最低限度人權保障標準的努力，沈默權已得到了聯合國文件的確認。