分子泵開始抽腔體的壓力要求

低於10^3Pa。在使用分子泵開始抽取腔體之前，需要先將腔體內部的氣體排出來，使得腔體內部達到較低的壓力，這個壓力被稱為起抽壓力，分子泵的起抽壓力應該低於10^3Pa，以確保有效地排出腔體內的氣體，避免汙染物質的殘留。