能譜分析是壹種對材料進行成分分析的方法，通過對材料中產生的電子能譜進行分析來確定材料的組成和化學狀態。
能譜分析的方法包括多種，如俄歇電子能譜、光電子能譜、X射線光電子能譜和紫外光電子能譜等。能譜分析廣泛應用於材料科學、生物醫學、環境科學等領域，可以用於表面成分分析、薄膜厚度測量、化學鍵狀態分析等多種應用 。
能譜分析通常是通過能譜儀來實現的。能譜儀是壹種用來對材料微區成分元素種類與含量分析的儀器，常常與掃描電子顯微鏡和透射電子顯微鏡等設備配合使用。能譜儀的工作原理是將材料中產生的電子能譜進行采集和處理，然後通過分析能譜圖譜線的分布特征來確定材料的組成和化學狀態 。
X射線光電子能譜是能譜分析中的壹種方法，它是通過對樣品表面產生的光電子能譜進行分析來確定樣品的組成和化學狀態的。在XPS譜圖上，通常能夠明顯出現的是自旋-軌道偶合能級分裂譜線，如p軌道的p3/2 p1/2，d軌道的 d3/2 d5/2和 f 軌道的 f5/2 f7/2，其能量分裂距離依元素不同而不同 。
需要註意的是，能譜分析的精度和準確性取決於多種因素，如采樣方式、分析條件、樣品制備等。在進行能譜分析時，需要選擇合適的樣品和制備方法，並對所采集的數據進行準確的處理和分析，以得到準確的分析結果。