超聲霧化器由超聲波發生器產生的高頻電流經過安裝在霧化缸裏的超聲換能器使其將高頻電流轉換為相同頻率的聲波，由換能器產生的超聲波通過霧化缸 中的耦合作用，通過霧化杯底部的透聲薄膜，從而使超聲波直接作用於霧化杯中的液體。當超聲波從杯底經傳導到達藥液表面時，液壹氣分界面即藥液表面與空氣交 界處，在受到垂直於分界面的超聲波的作用後(即能量作用)，使藥液表面形成張力波，隨著表面張力波能量的增強，當表面張力波能量達到壹定值時，在藥液表面 的張力波波峰也同時增大，使其波峰處的液體霧粒飛出(霧粒直徑的大小隨超聲波的頻率增大而縮小，即超聲波頻率與霧粒的尺寸成反比)。由於超聲波而產生的霧 粒具有尺寸均壹，動量極小，故容易隨氣流行走，藥液產生霧粒的數量隨超聲波能量的增加而增多(即超聲波的功率與霧粒的數量成正比)。在醫用超聲零化器將藥 液分裂成微粒後，再由送風裝置產生的氣流作用而生成藥霧，藥霧經送霧管輸送給患者。
2.醫用壓縮霧化器
醫用壓縮霧化器壹般是通過氣體壓縮機產生的壓縮氣體為驅動源來產生及傳輸氣霧的，其工作原理示意圖如圖4所示，其中的霧化裝置工作原理示例如圖 5所示:壓縮機產生的壓縮空氣從噴嘴噴出時，通過噴嘴與吸水管之間產生的負壓作用，向上吸起藥液。吸上來的藥液沖擊到上方的隔片，變成極細的霧狀向外部噴出。