靜電mems振鏡原理

靜電mems振鏡是壹種基於微機電系統技術制作而成的微小可驅動反射鏡。靜電mems振鏡的工作原理主要依賴於靜電力。靜電力是電荷之間的相互作用力，當施加在mems振鏡上的電場改變時，振鏡的形狀也會發生相應的變化，從而實現對反射光束的控制。

靜電mems振鏡的驅動方式主要有四種：電熱驅動、靜電驅動、電磁驅動和壓電驅動。其中，靜電驅動的mems振鏡研究最早最成熟，它的驅動電壓相對較高，偏轉角度小，掃描頻率高，適合微型投影和光通信產品。