20世紀50年代掃描電子顯微鏡在英國首先制造成功。它是利用物體反射的電子束成象的，相當於光學顯微鏡的反射象。掃描電子顯微鏡景深大，放大倍率連續可變，特別適用於研究微小物體的立體形態和表面的微觀結構。20世紀70年代以來，掃描電鏡發展很快，在固體樣品上可反射多種電子，結合信號分析裝置，已成為研究物質表面結構的有力工具。掃描電鏡的分辨率已由最初的500埃提高至50～30埃。電子顯微鏡的另壹個發展是研制超高壓電鏡以增加分辨率和對原樣品的穿透力。制成了3兆伏的加速電壓的超高壓電鏡，可用來研究整體細胞和物質的分子結構象或原子結構象。