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透射電鏡中聚焦鏡,物鏡,中間鏡和投影鏡各自具有什麽功能和特點

1、聚焦鏡

聚光鏡處在電子槍的下方,壹般由2~3級組成,從上至下依次稱為第1、第2聚光鏡(以C1 和C2表示)。關於電磁透鏡的結構和工作原理已經在上壹節中介紹,電鏡中設置聚光鏡的用途是將電子槍發射出來的電子束流會聚成亮度均勻且照射範圍可調的光斑,投射在下面的樣品上。C1和C2的結構相似,但極靴形狀和工作電流不同,所以形成的磁場強度和用也不相同。C1為強磁場透鏡,C2為弱磁場透鏡,各級聚光鏡組合在壹起使用,可以調節照明束斑的直徑大小,從而改變了照明亮度的強弱,在電鏡操縱面板上壹般都設有對應的調節旋扭。C1、C2的工作原理是通過改變聚光透鏡線圈中的電流,來達到改變透鏡所形成的磁場強度的變化,磁場強度的變化(亦即折射率發生變化)能使電子束的會聚點上下移動,在樣品表面上電子束斑會聚得越小,能量越集中,亮度也越大;反之束斑發散,照射區域變大則亮度就減小。通過調整聚光鏡電流來改變照明亮度的方法,實際上是壹個間接的調整方法,亮度的最大值受到電子束流量的限制。如想更大程度上改變照明亮度,只有通調整前面提到的電子槍中的柵極偏壓,才能從根本上改變電子束流的大小。在C2上通常 裝配有活動光闌,用以改變光束照明的孔徑角,壹方面可以限制投射在樣品表面的照明區域,使樣品上無需觀察的部分免受電子束的轟擊損傷;另壹方面也能減少散射電子等不利信號帶來的影響。

2、物鏡

處於樣品室下面,緊貼樣品臺,是電鏡中的第1個成像元件,在物鏡上產生哪怕是極微小的誤差,都會經過多級高倍率放大而明顯地暴露出來,所以這是電鏡的壹個最重要部件,決定了壹臺電鏡的分辨本領,可看作是電鏡的心臟。

(1)特點 物鏡是壹塊強磁透鏡,焦距很短,對材料的質地純度、加工精度、使用中汙染的狀況等工作條件都要求極高。致力於提高壹臺電鏡的分辨率指標的核心問題,便是對物鏡的性能設計和工藝制作的綜合考核。盡可能地使之焦距短、像差小,又希望其空間大,便於樣品操作,但這中間存在著不少相互矛盾的環節。

(2)作用 進行初步成像放大,改變物鏡的工作電流,可以起到調節焦距的作用。電鏡操作面板上粗、細調焦旋扭,即為改變物鏡工作電流之用。

為滿足物鏡的前述要求,不僅要將樣品臺設計在物鏡內部,以縮短物鏡焦距;還要配置良好的冷卻水管,以降低物鏡電流的熱飄移;此外,還裝有提高成像反差的可調活動光闌,及其要達到高分辨率的消像散器。對於高性能的電子顯微鏡,都通過物鏡裝有以液氮為媒質的防汙染冷阱,給樣品降溫。

3、中間鏡和投影鏡

在物鏡下方,依次設有中間鏡和第1投影鏡、第2投影鏡,以***同完成對物鏡成像的進壹步放大任務。從結構上看,它們都是相類似的電磁透鏡,但由於各自的位置和作用不盡相同,故其工作參數、勵磁電流和焦距的長短也不相同。電鏡總放大率:

M=MO·MI·MP1·MP2

即為物鏡、中間鏡和投影鏡的各自放大率之積。當電鏡放大率在使用中需要變換時,就必須使它們的焦距長短相應做出變化,通常是改變靠中間鏡和第1投影鏡線圈的勵磁工作電流來達到的。電鏡操縱面板上放大率變換鈕即為控制中間鏡和投影鏡的電流之用。

對中間鏡和投影鏡這類放大成像透鏡的主要要求是:在盡可能縮短鏡筒高度的條件下,得到滿足高分辨率所需的最高放大率,以及為尋找合適視野所需的最低放大率;可以進行電子衍射像分析,做選區衍射和小角度衍射等特殊觀察;同樣也希望它們的像差、畸變和軸上像散都盡可能地小。