等離子態（Plasma）被稱為是物質的第四態；我們知道，給固態增加能量可使之成為液態，給液態增加能量可使之變成氣態，那麽，給氣態增加能量則能變成等離子態。
等離子體即電離了的“氣體”，它呈現出高度激發的不穩定態，等離子體中存在下列物質：處於高速運動狀態的電子；處於激活狀態的中性原子、分子、原子團（自由基）；離子化的原子、分子；分子解離反應過程中生成的紫外線；未反的分子、原子等，但物質在總體上仍保持電中性狀態。
這些高能粒子和活性粒子與材料表面發生物理或化學反的反應，從而達到表面清潔、激活、蝕刻、親水性、疏水性、低摩擦、易粘接、塗覆等各種表面改性目的。