實證主義社會學的發展經歷了3個時期。前兩個時期通常被看作是實證主義社會學發展的古典階段。第壹個時期始自19世紀上半葉，與社會學的初創階段相吻合。其理論創始人是孔德、英國社會學家H.斯賓塞、比利時社會學家L.A.凱特萊和法國社會學家F.勒普累等。此階段雖然確立了實證主義社會學的壹般宗旨，但還存在兩大缺陷：①社會學理論還殘存著思辨哲學的成分；②理論研究和經驗探討相互分離。孔德和斯賓塞致力於構築實證主義社會學的理論體系，凱特萊和勒普累等人則偏重於經驗研究的方法和具體的社會調查。
從19世紀下半葉至20世紀初為實證主義社會學發展的第二個時期，也是實證主義社會學的鼎盛期。法國的E.迪爾凱姆和意大利的V.帕累托對以往社會學進行了綜合，把實證主義社會學推向了高峰。迪爾凱姆在提出“社會事實”概念的同時，制定了壹系列社會研究的實證規則。他把社會事實作為社會學的研究對象，進而揭示了它們之間所存在的“形態學”（即結構）的、功能的和因果的關系，由此把社會學的唯實論發展成為把社會看作高於個人的社會決定論。迪爾凱姆還把實證主義社會學的基本理論與經驗研究密切結合起來。他運用統計方法對自殺現象的研究，用人種學資料對澳大利亞土著居民進行的宗教研究，是社會學的理論研究與經驗研究相結合的範例。帕累托對邏輯與非邏輯行動的分類，對動態平衡的闡述以及精英循環的看法，使實證主義社會學更加豐富和完善。