capability是能力,能量,容量,有performance的意思,或者是performance裏面最重要的壹環;
WPH是 wafer per hour,是每小時的出片量,是throughput的壹個衡量指標,說白了就是產量;
MPS好像有很多同樣的縮寫,不好講,有可能是“Mass Production Schedule”;
STEP就是Flow裏面的每壹步驟了。
簡單的很,進fab待幾天就都知道了。
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