氧空位的形成原理：我們常說的氧空位指的是，當晶格中的氧原子走後，順手帶走了兩個原屬於其他原子的電子，所留下的缺陷。換句話說，形成氧空位時，走掉的不只是氧自己，而是比氧多兩個電子的氧離子O2-。
為什麽氧原子離開，壹般都會順走兩個電子呢？因為首先在形成氧化物的時候，氧的最外層有6個電子，其他原子借給了氧2個電子，來形成穩定的8電子結構。當氧離開的時候，因為氧化物中氧的電負性是最強的，電負性強說明對電子的吸引力大，就順手把從別人那裏借來的兩個電子帶走了，所以這時候（即形成氧空位的時候）離開的氧不再是曾經那個純粹的氧原子了，它還多帶了兩個電子，是最外層有8電子的氧離子O2-。此時，原來那個平衡的電中性的晶格中，因為少了兩個電子的中和，就表現出了正電性。把表現出的正電性記在這個空位頭上，就變成了帶2+的Vo。至於不帶電的氧空位，就是如果正好有額外什麽地方來的2個電子又填回去的話，就是電中性的氧空位了，相當於這個空位只走了壹個氧原子，而非氧離子。