68國產ICP刻蝕設備有哪個品牌好些？麻煩告訴我

東方中科是代理，SENTECH是德國剛剛做plasma設備的小公司，東方喜歡代理這類公司，但是都是業界不出名的公司，白老鼠的風險較大。

創世威納基本不用考慮。小於壹百萬的預算的話，買他們的不如去買中科院微電子所的ICP。

還要看妳刻矽要刻到多深，如果是那種要刻穿的，壹般要用bosch工藝，設備都比較貴。最好的刻矽的設備是STPS，妳這個預算不壹定夠。能支持國產就支持國產的吧，北方微算是最好的了，只要不是很特殊的應用，性能也不是太差。