十萬級、萬級和百級潔凈車間的定義：
依據美國聯邦政府頒布的標準，可將無塵室分為六級。分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級，如果無塵室的等級只用塵粒數目來敘述，則可假設塵粒的尺寸為0.5um
例如，1級、10級、100級無塵室最大塵粒數目分別小於或等於1顆、10顆、100顆，如果塵粒尺寸不是0.5µm，無塵室等級應以在壹特定塵粒尺寸的級數來表示。
例如：10級在0.2um，1級在0.12um。而集成電路制造所需的無塵室之潔凈度必須優於1000級。
為保持無塵室的潔凈度，進出的人員有壹定的穿著規定；10000與100000級，必須穿著長袍無塵衣、無塵鞋、帶帽子與面罩；1000級(含)以上，需穿著特殊的潔凈連身衣、無塵鞋將全身裹住，並帶上手套和面罩。
十萬級、萬級和百級潔凈車間的凈化參數:
換氣次數：100000級≥15次；10000級≥20次；1000≥30次；100≥500次.壓差：主車間對相鄰房間≥5Pa
平均風速：10級、100級0.3－0.5m/s；溫度 冬季＞16℃；夏季 ＜26℃；波動±2℃。
溫度45－65％；GMP粉劑車間濕度在50％左右為宜；電子車間濕度略高以免產生靜電。
噪聲≤65dB（A）；新風補充量是總送風量的10％－30％；照度300LX。
十萬級、萬級和百級潔凈車間的凈化級別標準：