測量厚度可以用時下熱門的納米級測量儀器-光學3D表面輪廓儀、激光***聚焦顯微鏡和臺階儀。
1、光學3D表面輪廓儀（光學，非接觸式）
光學3D表面輪廓儀以白光幹涉技術原理，通過測量幹涉條紋的變化來測量表面三維形貌，專用於精密零部件之重點部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。
2、激光***聚焦顯微鏡（光學，非接觸式）
激光***聚焦顯微鏡以轉盤***聚焦光學系統為基礎，結合高穩定性結構設計和3D重建算法***同組成測量系統，能用於各種精密器件及材料表面的非接觸式微納米測量。能測量表面物理形貌，進行微納米尺度的三維形貌分析，如3D表面形貌、2D的縱深形貌、輪廓（縱深、寬度、曲率、角度）、表面粗糙度等。
SuperViewW1光學3D表面輪廓儀
VT6000***聚焦顯微鏡
3、臺階儀（探針，接觸式）
臺階儀不同於光學輪廓儀和顯微鏡的是它的測量方式是接觸式探針測量。它可以對微米和納米結構進行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量。線性可變差動電容傳感器（LVDC），具有亞埃級分辨率，13um量程下可達0.01埃。高信噪比和低線性誤差，使得產品能夠掃描到幾納米至幾百微米臺階的形貌特征。