表面電阻率的單位是歐姆
表面電阻率是平行於通過材料表面上電流方向的電位梯度與表面單位寬度上的電流之比，用歐姆表示。
在固體材料平面上放兩個長為L、距離為d的平行電極，則兩電極間的材料表面電阻Rs與d成正比，與L成反比，數學表達式：Rs=ρd/L