潔凈度就是按照空氣中的微粒子數量來分級的,主要是飄塵、還有細菌等有害物質。另外根據不同的工藝需求,對溫濕度、壓力、噪音等也會有壹定的控制。
潔凈度分級都是檢測壹定空間範圍內的微粒子。最常用的是美國聯邦209E標準,檢測的是1立方英尺(ft?)。國際ISO14644檢測的是1立方米(m?)。微粒子的尺寸有0.1-5μm,壹般是以0.5μm作為參考值。
比如百級潔凈室,1立方英尺(ft?)內0.5μm的微粒子有100個,千級就是1000個,萬級就是10000個,非常好理解。所以數值越小,潔凈等級越高。
美國聯邦209E與國際ISO等級對照表