目前檢測機床精度主流儀器是SJ6000激光幹涉儀+WR50自動精密轉臺+MT21無線球桿儀。
SJ6000激光幹涉儀
WR50自動精密轉臺
MT21無線球桿儀
SJ6000激光幹涉儀搭配不同的鏡組可以實現機床定位精度、重復定位精度、直線度、平行度、垂直度、偏擺角度等幾何精度測量。
SJ6000激光幹涉儀測量機床定位精度
SJ6000激光幹涉儀測量機床垂直度
SJ6000激光幹涉儀測量機床偏擺角度
SJ6000激光幹涉儀測量機床直線度
WR50自動精密轉臺搭配SJ6000激光幹涉儀可以實現機床回轉軸自動測量。
WR50自動精密轉臺測量機床回轉軸精度
MT21無線球桿儀是評價機床動態輪廓精度的精密儀器。其工作原理是將球桿儀的兩端分別安裝在機床的主軸與工作臺上，測量兩軸插補運動形成的圓形軌跡，並將這壹軌跡與標準圓形軌跡進行比較，從而評價機床產生誤差的種類和幅值。
MT21無線球桿儀評定機床