臺階儀測量薄膜厚度優點：
臺階儀利用光學幹涉原理，通過測量膜層表面的臺階高度來計算出膜層的厚度，具有測量精度高、測量速度快、適用範圍廣等優點。采用LVDC電容傳感器，具有的亞埃級分辨率和超微測力等特點使得其在ITO導電薄膜厚度的測量上具有很強的優勢。
CP200臺階儀
ITO膜厚測量
ITO膜厚測量
工作原理當觸針沿被測表面輕輕滑過時，由於表面有微小的峰谷使觸針在滑行的同時還沿峰谷作上下運動。觸針的運動情況就反映了表面輪廓的情況。
通常使用2μm半徑的金剛石針尖來測量這些小特征。壹個精密的xy載物臺聯合掃描軸R和轉臺θ，在測針下移動樣品，測針中的垂直位移被轉換為與特征尺寸相對應的電信號。然後將這些電信號轉換為數字格式，在其中它們可以顯示在計算機屏幕上並進行操作以確定有關基材的各種分析信息。可以微調掃描長度和掃描速度，以增加或減少分析時間和分辨率。此外，測力可調以適應硬質或軟質材料表面。
性能特點1）結合了360°旋轉臺的全電動載物臺，能夠快速定位到測量標誌位；
2）對於批量樣件，提供自定義多區域測量功能，實現壹鍵多點位測量；
3）提供SPC統計分析功能，直觀分析測量數值變化趨勢；