鋁層厚度可以用臺階儀來測量。臺階儀采用了線性可變差動電容傳感器LVDC，具備超微力調節的能力和亞埃級的分辨率，同時，其集成了超低噪聲信號采集、超精細運動控制、標定算法等核心技術，可以測量臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數。
測量過程測量時通過使用2μm半徑的金剛石針尖在超精密位移臺移動樣品時掃描其表面，測針的垂直位移距離被轉換為與特征尺寸相匹配的電信號並最終轉換為數字點雲信號，數據點雲信號在分析軟件中呈現並使用不同的分析工具來獲取相應的臺階高或粗糙度等有關表面質量的數據。
工作原理當觸針沿被測表面輕輕滑過時，由於表面有微小的峰谷使觸針在滑行的同時還沿峰谷作上下運動。觸針的運動情況就反映了表面輪廓的情況。
通常使用2μm半徑的金剛石針尖來測量這些小特征。壹個精密的xy載物臺聯合掃描軸R和轉臺θ，在測針下移動樣品，測針中的垂直位移被轉換為與特征尺寸相對應的電信號。然後將這些電信號轉換為數字格式，在其中它們可以顯示在計算機屏幕上並進行操作以確定有關基材的各種分析信息。可以微調掃描長度和掃描速度，以增加或減少分析時間和分辨率。此外，測力可調以適應硬質或軟質材料表面。