若對測量臺階的精度和速率無較高的要求、不介意測量過程中劃傷產品表面、且材質不是軟質材質和尖銳產品，可選用接觸式的臺階儀進行臺階的測量。臺階儀通常由壹個機械探針和壹個測量系統組成。機械探針可以是壹個尖銳的針尖或球形探頭，它會與被測表面接觸並沿表面運動。當機械探針接觸到被測表面時，測量系統會記錄下機械探針的運動軌跡和力的變化。通過測量探針在表面上的運動和受到的力的變化，可以計算出表面的形貌參數。測量原理中的關鍵是探針與被測表面的接觸和運動，因此需要保證探針的穩定性和精確性。此外，還需要考慮表面的硬度、光滑度等因素對測量結果的影響。但接觸式臺階儀在測量過程中容易發生撞針現象，儀器壽命較短。
若對測量精度、測量速率有要求，或者測量產品是軟質材料或者尖銳產品等接觸式臺階儀難以測量的，或者希望采用不損傷產品的非接觸形式測量的，可以選用以壓電陶瓷驅動的白光幹涉儀進行臺階測量。
壓電陶瓷驅動的白光幹涉儀測量臺階是采用光學的原理，可以實現無損檢測，不會刮傷產品表面。測量精度可以達到亞納米級別；
可以實現多線測量，快速選取比探針式更多的截面，保證測量穩定性；
軟質和尖銳產品等接觸式臺階儀無法測量的產品，白光幹涉儀也可以測量；
軟件功能豐富，自動測量最高最低點、平均值、統計分析等；
可以測高透明產品，低至0.02%反射率的表面也可以輕松采集點雲成像；
在倍率精度相同的情況下，白光幹涉儀可以獲取更大的視野，以面的形式掃描，壹般在數秒鐘內即可完成測量，AM-7000系列可以達到400μm/s的掃描速度。
綜上，可以根據自己的需求選擇不同測量原理的臺階檢測儀。