鉭酸鋰cmp缺陷

1、表面凹陷或劃痕：在CMP過程中，會出現表面凹陷或劃痕，這些缺陷會影響到鉭酸鋰晶體的平整度和光學性能。

2、晶體裂紋：CMP過程中，操作不當或者應力不均勻，會導致鉭酸鋰晶體出現裂紋。