中國在2000多年前的戰國時期就有了中耕用的鐵鋤;最早的畜力中耕機械──耬鋤約已有700年有歷史。 元《王禎農書》載有水田除草松土用的耘蕩，明宋應星著《天工開物》載有由多排釘齒和軋輥組成的水田中耕器，這種人力中耕器至今在中國及亞洲其他壹些水稻產區仍有使用。弧形齒攪拌土壤時，歐洲在18世紀發明了馬拉鋤。1856年出現第壹臺馬拉乘坐式中耕機。從20世紀初開始，由拖拉機牽引或懸掛的多行中耕機逐漸發展起來。其中以裝有弧形齒的六面體除草輪效果最好。20世紀50年代，中國開始生產新型畜力和機力中耕除草機；60年代以後，發展壟作中耕機和通用機架中耕機；70年代已生產由小汽油機驅動工作部件的水稻中耕機。