因素比較法的步驟如下：
(1)確定分析對象，並計算出實際與目標數的差異;
(2)確定該指標是由哪幾個因素組成的，並按其相互關系進行排序(排序規則是：先實物量，後價值量;先值，後相對值);
(3)以目標數為基礎，將各因素的目標數相乘，作為分析替代的基數;
(4)將各個因素的實際數按照上面的排列順序進行替換計算，並將替換後的實際數保留下來;
(5)將每次替換計算所得的結果，與前壹次的計算結果相比較，兩者的差異即為該因素對成本的影響程度;
(6)各個因素的影響程度之和，應與分析對象的總差異相等。
因素分析法註意問題包括：因素分解的關聯性、因素替代的順序性、順序替代的連環性和計算結果的假定性。當我們改變幾個因素時就必須註意到它們之間的相互作用，協同作用要加以利用，拮抗作用應註意防止或調整。
在我們找出的這多種因素中，區分哪些是重要的，哪些是比較重要的，哪些是次要的。例如，影響乒乓球旋轉強度的多種因素中，重要的因素是揮拍速度，球拍的摩擦力，球與拍接觸的部位，次要的是空氣的氣流，濕度，其它的則介於二者之間。