方塊電阻和電阻率的關系式

關系式：方塊電阻Rs=ρ/w （其中ρ為薄層材料的電阻率,w為薄層材料的厚度）.

註意：

1-薄層材料的電阻率必須是均勻的.如樣品是擴散層,本關系式不成立；

2-假如采用直線四點探針法測試樣品,必須在w/s小於0.6的情況下（其中s為探針間距）,使用本關系式.