覆層厚度測量已成為加工工業、表面工程質量檢測的重要壹環,是產品達到優等質量標準的必備手段。為使產品國際化,我國出口商品和涉外項目中,對覆層厚度有了明確的要求。
覆層厚度的測量方法主要有:楔切法,光截法,電解法,厚度差測量法,稱重法,X射線熒光法,β射線反向散射法,電容法、磁性測量法及渦流測量法等。這些方法中前五種是有損檢測,測量手段繁瑣,速度慢,多適用於抽樣檢驗。
X射線和β射線法是無接觸無損測量,但裝置復雜昂貴,測量範圍較小。因有放射源,使用者必須遵守射線防護規範。X射線法可測極薄鍍層、雙鍍層、合金鍍層。β射線法適合鍍層和底材原子序號大於3的鍍層測量。電容法僅在薄導電體的絕緣覆層測厚時采用。
隨著技術的日益進步,特別是近年來引入微機技術後,采用磁性法和渦流法的測厚儀向微型、智能、多功能、高精度、實用化的方向進了壹步。測量的分辨率已達0.1微米,精度可達到1%,有了大幅度的提高。它適用範圍廣,量程寬、操作簡便且價廉,是工業和科研使用最廣泛的測厚儀器。
采用無損方法既不破壞覆層也不破壞基材,檢測速度快,能使大量的檢測工作經濟地進行。
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